X熒光光譜儀是根據X射線滎光光譜的分析方法配置的多通道X射線熒光光譜儀，它能夠分析固體或粉狀樣品中各種元素的成分含量。
 

　　X射線熒光(XRF)能夠測定周期表中多達83個元素所組成的各種形式和性質的導體或非導體固體材料，其中典型的樣品有玻璃、塑料、金屬、礦石、耐火材料、水泥和地質物料等。凡是能和x射線發(fā)生激烈作用的樣品都不能分析，而且要分析的樣品必須是在真空(4~5pa)環(huán)境下才能測定。
 

　　X熒光光譜儀(XRF)由激發(fā)源(X射線管)和探測系統(tǒng)構成。X射線管通過產生入射X射線(一次X射線)，來激發(fā)被測樣品。
 

　　受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能星特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數量。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含星。
 

　　元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內層電子的躍遷，同時發(fā)射出具有一定特殊性波長的X射線，因此,只要測出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎。此外,熒光X射線的強度與相應元素的含量有一定的關系，據此，可以進行元素定量分析。
 

　　近年來，X熒光光譜分析在各行業(yè)應用范圍不斷拓展，廣泛應用于冶金、地質、有色、建材、商檢、環(huán)保、衛(wèi)生等各個領域，特別是在RoHS檢測領域應用得多也廣泛，是一種中型、經濟、高性能的波長色散X射線光譜儀。
 

　　X熒光光譜儀具有以下優(yōu)點:
 

　　1)分析速度高。測定用的時間與測定精密度有關，但一般都很短，2~5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
 

　　2)X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態(tài)無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態(tài)也基本上沒有關系。
 

　　大多數分析元素均可用其進行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。(氣體密封在容器內也可分析)但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定。
 

　　3)非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態(tài)的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。
 

　　4)X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。
 

　　5)分析精密度高。
 

　　6)制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。